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2.1.2 ²Ì˾£ºÈ«Çò¹â¿Ì¾µÍ·Áìµ¼Õß¡¢EUV¹â¿Ì¾µÍ·Î¨Ò»¹©Ó¦É̸߾«¶È¹âѧ¾µÍ·ÊÇ¡°¹â¿Ì»úµÄÑÛ¾¦¡±£¬Êǹâ¿Ì»úµÄºËÐIJ¿¼þ¡£¸ßÊýÖµ¿×¾¶µÄ¾µÍ·¾ö¶¨Á˹â¿ÌÉ豸µÄ·Ö±æÂʼ°ÆäµþÓ¡Îó²îÄÜÁ¦¡£²Ì˾ƾ½èÔÚ¹âѧÉè¼Æ¡¢¼Ó¹¤ºÍ²âÊÔ·½ÃæÉîºñµÄ¼¼Êõר³¤£¬ÊÇASML EUV¼«×ÏÍâ¹â¿ÌÉ豸¾µÍ·µÄΨһ¹©Ó¦ÉÌ¡£Ä¿Ç°£¬²ÌË¾ÖÆÔìµÄ×îÐÂÒ»´úEUVÆØ¹âÉ豸¾µÃæ×î´óÖ±¾¶Îª1.2Ã×£¬±íÃæÐÎ×´¾«¶ÈΪ0.12ÄÉÃ×£¬±íÃæ´Ö²Ú¶ÈΪ20ƤÃ×£¨=0.02ÄÉÃ×=0.2°££©£¬ÓÅÓÚ´«Í³¾µÃæ¡£Ðí¶àÔ×ÓµÄÖ±¾¶¡£ËüºÜС£¬ÕâÒâζ×ÅËüÊÇÔ×ÓÆ½Ì¹µÄ¡£²Ì˾ƾ½èÏÈ·¢ÓÅÊÆºÍ¼¼ÊõÓÅÊÆ£¬ÔÚ¹â¿Ì»ú¾µÍ·Êг¡Õ¼ÓÐÖØÒªµØÎ»£¬Êг¡·Ý¶î´ï80%¡£ 2.2 Ò½ÁÆ£ºÒ½ÁÆÊг¡ÐèÇóÎȲ½Ôö³¤£¬²Ì˾ÕýÔÚÍØÕ¹ÑÛ¿ÆÉ豸ºÍÊÖÊõÏÔ΢¾µ2.2.1 ÑÛ¿ÆÊÖÊõÉ豸£ºÈ«ÇòÑÛ¿ÆÉ豸Êг¡¸ß¶È¼¯ÖУ¬²Ì˾ӵÓÐÅÓ´óµÄ»¼Õß»ù´¡£¬Î»¾ÓµÚ¶þÑÛ¿ÆÁìÓò£¬³ÊÏÖÐèÇóÀ¶º£¡£ÑÛ¿ÆÁìÓò»¼ÕßÊýÁ¿ÅӴ󣬻¼²¡ÂÊÖð½¥ÉÏÉý£¬ÐèÇóÎȶ¨Ç¿¾¢£¬ÊÇÒ»Ìõ·¢Õ¹Ç±Á¦¾Þ´óµÄ»Æ½ðÈüµÀ¡£Ëæ×ÅÈË¿ÚÀÏÁ仯ºÍÊÖ»úµÈµç×Ó²úÆ·µÄÆÕ¼°£¬ÀÏÄêÐÔÑÛ²¡¡¢´úлÐÔÑÛ²¡¡¢ÖضȽüÊÓÒýÆðµÄÑ۵ײ¡±äµÈÈÕÒæÍ»³ö¡£¸ù¾ÝÊÀ½çóÒ××éÖ¯µÄÊý¾Ý£¬È«ÇòÖÁÉÙÓÐ22ÒÚÈËʧÃ÷»òÊÓÁ¦ÊÜËð£¬ÆäÖÐÖÁÉÙ10ÒÚÈË»¼ÓпÉÔ¤·À»òδ½â¾öµÄÊÓÁ¦Õ**¡£Ëæ×ž¼ÃÐÎÊÆµÄºÃת£¬¾ÓÃñ½¡¿µÒâʶÖð½¥ÔöÇ¿£¬Ò½ÁÆ·ÑÓÃÕ¼±ÈÖð½¥Ìá¸ß£¬ÐγÉÁ˾޴óÐèÇóµÄÀ¶º£¡£È«ÇòÊг¡¾ºÕù»·¾³¸ß¶È¼¯ÖУ¬²Ì˾ÅÅÃûµÚ¶þ¡£ÑÛ¿ÆÊÖÊõÆ÷е°üÀ¨ÓÃÓÚÕï¶ÏºÍÖÎÁÆÑۿƼ²²¡µÄÑÛ¿ÆÆ÷е¼°Ïà¹ØÆ÷е¡¢¸¨ÖúÆ÷еºÍÖ²ÈëºÄ²Ä¡£¸ù¾Ý²Ì˾Êý¾Ý£¬2021ÄêÈ«ÇòÑÛ¿ÆÊÖÊõÉ豸Êг¡¹æÄ£Îª132ÒÚÃÀÔª£¬½ÏÉÏÄêÔö³¤19%¡£ÆäÖУ¬²Ì˾2021ÄêÊг¡·Ý¶îԼΪ11%£¬½ö´ÎÓÚ°®¶û¿µÎ»¾ÓµÚ¶þ¡£¹úÄÚÑÛ¿ÆÉ豸Êг¡ÐèÇó¾Þ´ó£¬ÇÒÒÔ½ø¿Ú²úƷΪÖ÷¡£ÓÉÓÚÄêÇáÈËÇü¹â²»ÕýµÄÔö¼ÓÒÔ¼°ÖÐÀÏÄêÈ˰×ÄÚÕÏÊÖÊõÊýÁ¿µÄÔö¼Ó£¬ÎÒ¹úÑÛ¿ÆÉ豸Êг¡ÕýÔÚ¿ìËÙÔö³¤£¬¾Ý¿ÇÅÆÑо¿ÔºÔ¤²â£¬Êг¡¹æÄ£Ô¤¼Æ2021Ä꽫´ïµ½375ÒÚÔª¡£ÂíËÕ¡£2017ÄêÖÁ2021ÄêµÄ¸´ºÏÄêÔö³¤ÂÊΪ18.5%¡£ÑÛ¿ÆÒ½ÁÆÆ÷еÐÐÒµ¼¼Êõ±ÚÀݽϸߣ¬½ø¿Ú¢¶ÏÂʼ«¸ß£¬²Ì˾¡¢°®¶û¿µ¡¢ÍØÆÕ¿µµÈ¹úÍâÆóÒµÕ¼¾Ý´ó²¿·ÖÊг¡·Ý¶î¡£
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