废气处理设备操作规程，uv光氧催化废气处理设备

据金融行业消息2024年2月19日消息，根据国家知识产权局公告，长鑫存储科技有限公司已申请项目名称为“废气处理设备及处理方法”（公开号CN117553306A） 。申请日期为2022年8月。

专利摘要表明，本发明提供了一种废气处理装置及处理方法，涉及半导体技术领域。废气处理装置包括废气输送路径、废气燃烧室、连接路径和加热装置，连接路径用于连接废气输送路径和废气燃烧室，加热装置已安装。完成。加热装置用于加热连接通道内的气体，对废气进行加热。通过在连接流道中设置加热装置，对连接流道中的废气进行加热，减少废气在连接流道中反应生成的结晶物的量，并且部分生成的结晶物是可以移除的部分。避免了连接流路的堵塞，保证了废气处理设备的正常运行，提高了废气处理设备的安全性和可靠性。

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