cl-6手动探针测试台的主要特点和用途，自动探针台原理

故障分析赵工半导体工程师2023-04-02 09:59 北京刊物探针台大家都很熟悉，是我们半导体实验室经常用于电性能测试的设备，也是各大实验室的老客户了。具有成本低、适用范围广、操作简便、环境要求低等优点，无需超净室即可在正常环境下施工，并能提供稳定、客观的检测结果。很受工程师欢迎。北软实验室的探针台近期进行了升级。我想借此机会总结一下探针台的用途。除了常规探针台功能外，激光探针台服务还包括： 1. 微小连接点信号提取2. 故障分析与确认3. FIB 电路变更后的电气特性确认4. 晶圆可靠性验证新增： 1. 激光打标；2表面修复线（利用激光将两层金属线熔接连接）； 3. 短路点的消除； 4. 激光断线； 5. 干扰芯片测试； 1. 手动探针台的使用：探针台主要是应用于半导体行业、光电行业、集成电路及封装测试。广泛应用于复杂、高速器件的高精度电测量的研发，目的是保证质量和可靠性，减少器件制造过程的开发时间和成本。手动探针台的主要目的是为测试半导体芯片的电参数提供一个测试平台。探针台可吸附不同规格的芯片，并提供多种可调测试针和探针座。利用测量仪器、集成电路，可以完成电容器的电压、电流、电阻、电压特性曲线等参数的检测。适用于科研分析、芯片现场检验和测试。手动探针台应用领域：失效分析、集成电路失效分析、晶圆级可靠性、晶圆可靠性认证、器件表征、元件表征、工艺建模、塑料工艺测试（材料表征）、IC工艺监控、封装元件探测、IC封装阶段布线质量测试平板探测液晶面板特性测试PC板探测PC主板电气测试ESDTDR测试ESD和TDR测试微波探测微波测量（高频） 光伏场检测与分析LED、OLED、LCD场检测与分析2：如何使用手动探针台： 1、将样品装入真空吸盘中，打开真空阀控制开关，确保样品安全牢固地吸附在吸盘上。 2. 使用卡盘X 轴/Y 轴控制旋钮移动卡盘平台，以便在显微镜低倍物镜焦点下清晰地看到样品。 3. 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，将待测样品点移动到显微镜上。 4. 将显微镜切换到高倍物镜，找到要在高倍率下测量的点。接下来，微调显微镜的焦点和样品的X-Y，以清晰地调整图像并将测量点置于显微镜的中心。视野。 5、确认测量点的位置后，调整探头支架的位置，安装探头后，目视将探头移动到更接近测量点的位置，并使用X-Y-Z三级微调。调节探头支架上的旋钮，缓慢地将探头移至测量点。此时，将探头尖端悬浮在测量点上方，缓慢而小心地移动，避免过度移动而损坏尖端。首先使用Y 轴旋钮移动探头。将针向后移动一点，然后使用Z轴旋钮将针降低，最后使用X轴旋钮左右滑动，看是否有探头。是否有任何划痕证明有过接触？ 6. 确保针尖与测量点牢固接触后，即可使用连接的测试设备开始测试。常见故障处理在使用本设备时，您可能会遇到一些问题，下表列出了常见故障及其解决方法。手动探针台技术参数。

3：手动探针台规格说明（以实验室常用的ADVANCED 8寸、6寸探针台为例）： 探针台平台平整度：5m 位于探针台右侧配备标准显微镜采用升降机构显微镜可升起，以便于更换镜头和标本探针台左侧标配升降器，允许工作台快速升降8 毫米，并具有锁定功能标配旋转微调机构，探针台右下方的滚轮可微调控制面升程，范围25mm（如客户有特殊需求，范围可加大），精度1m 6英寸或8英寸载盘（可选），吸盘平整度：5m，采用真空吸附方式，中心直径250m-1mm定制吸盘可旋转0至360度，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，标准角度锁定旋钮和大螺母平台可以控制X-Y运动。移动范围为150mm或200mm，移动精度为1m。具有快速导入和导出阶段的功能。易于装载和卸载平台。 （可选），可与高倍金相和体视显微镜配合使用，显微镜X-Y-Z行程范围为2.5英寸，行程精度为1um，4至8个探头支架可用于直流或射频测试可选附件：射频测试探头和电缆有源探头，低电流/电容测试、高压模块、激光维修、高清数码相机、探针卡/封装/PCB板夹具、热夹头防震台、屏蔽盒、兼容测试设备、各种示波器型号、不同品牌和型号的信号源表Agilent B1500、 Agilent 4155、Agilent 4156 Keithley 4200 不同品牌网络分析仪机器概述重量：50kg（含显微镜） 尺寸：宽720 mm * 长680 mm * 高80 mm（含显微镜） 电源要求： 电源220V/15A；4 ~6KG压缩空气半导体工程师分享半导体经验、交流半导体成果、发布半导体信息。半导体行业趋势、半导体从业者职业规划、芯片工程师成长历程。