半导体测试探针上市公司,半导体测试探针的用途
chanong
|与上述两种类型相比,全自动探针台增加了晶圆材料处理单元(MHU)和模式识别(自动对准)。它负责传送和定位晶圆,并通过按顺序接触探针来对晶圆上的裸片进行一一测试。它们可以每天24 小时运行,通常用于芯片的大规模生产或有特殊要求,例如处理薄晶圆或封装基板。全自动探针台比手动/半自动探针台贵得多。
探针台由哪些部分组成?
样品台(stage):用于定位晶圆和芯片的部件。它们的尺寸通常与晶圆尺寸相匹配,并配备相应的高精度移动定位功能。光学元件:该组件的功能允许用户在视觉上放大被测物体,并将探针尖端精确对准并放置在被测晶圆/芯片上的测量点。有些人使用立体变焦显微镜,其他人使用数码相机,或两者兼而有之。 (左上图) 卡盘:卡盘具有非常平坦的金属表面,使用夹具来固定测试对象或使用真空来吸附晶圆。探针(探针卡):被测芯片需要连接测试探针来与测试设备建立连接。常见的包括常规直流测试探头、同轴直流测试探头、有源探头和微波探头。探头尖端插入单个探头臂并连接到机械手。探头尖端的尺寸和材料取决于被探测特征的尺寸和所需的测量类型。探头尖端应与被测零件直接接触,并且探头臂应与探头尖端对齐。 (上图右) 探头夹和电缆组件:探头夹用于固定探头并将探头连接到仪器。电缆组件用于将电缆组件适配并延伸至探针夹。机械手(定位器):探针台利用机械手将探头定位在被测物体上,可以轻松定位并快速固定探头。通常使用磁铁或真空将其固定到位。一旦固定,机械手就可以在X、Y 和Z 方向上精确定位探针尖端,并且在某些情况下可以执行旋转运动。 (上图)








