申请新产品专利支出计入无形资产成本，华光科技光芯棒项目

据金融行业消息2024年1月19日消息，根据国家知识产权局公告，华海清科股份有限公司申请的名为“晶圆抛光系统、晶圆抛光方法及晶圆抛光控制系统”的项目确实完成了。公开号CN117415723A，提交日期2023 年12 月。

专利摘要表明，本申请公开了一种晶圆抛光系统、晶圆抛光方法、晶圆抛光控制系统，该晶圆抛光系统包括晶圆抛光装置和回收装置，该晶圆抛光系统包括晶圆抛光装置和回收装置。回收装置，包括抛光盘组件、至少三个抛光头以及与抛光头对应的供液组件，所述抛光头用于对抛光盘组件上的晶圆进行抛光，所述供液组件连接至抛光盘组件。抛光头，抛光盘用于供应抛光液，该组件还包括一个装置。中心回液孔用于与回收装置连通。回收设备包括用于过滤回收的抛光液的过滤器和用于制备过滤后的抛光液的提取桶。确保抛光液可以转移到流体供应组件并再次使用。本申请提供的方案可以减少抛光液在抛光盘组件中心的积聚，提高抛光精度，并节省抛光液成本。

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