ѹÁ¦±äËÍÆ÷ÓÃ;£¬Ñ¹Á¦±äËÍÆ÷ÌØµã
chanong
|ÔÚÕâÀÎÒÃÇÌÖÂÛÒ»ÏÂÊг¡Éϳ£¼ûµÄËÄÖÖѹÁ¦´«¸ÐÆ÷µÄ¹¤×÷ÔÀíºÍÓ¦Óó¡¾°£¬°üÀ¨¾«Ãܵ¥¾§¹èѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¡¢µçÈÝʽѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¡¢À©É¢¹èѹÁ¦´«¸ÐÆ÷ºÍÌÕ´ÉѹÁ¦´«¸ÐÆ÷¡£ËùÓÐÕâЩÀàÐ͵ÄѹÁ¦±äËÍÆ÷¶¼ÓÃÓÚ²âÁ¿Ñ¹Á¦ºÍÆäËûÊý¾Ý£¬µ«ÓÉÓÚÆä¹¤×÷ÔÀí²»Í¬£¬´«¸ÐÆ÷½á¹¹Ò²ÓÐËù²»Í¬¡£
µ¥¾§¹èѹÁ¦±äËÍÆ÷¹¤×÷ÔÀí¼°Ó¦Óó¡¾°£º
²ÉÓõ¹úÏȽøMEMS¼¼ÊõÖÆÔìµÄµ¥¾§¹è´«¸ÐÆ÷оƬºÍË«ÁºÐü¸¡Éè¼Æ£¬ÌṩÊÀ½çÒ»Á÷µÄ¸ß¾«¶È¡¢³¬¸ß¹ýѹÐÔÄܺÍ׿ԽµÄÎȶ¨ÐÔ¡£ÄÚÖõ¹úÐźŴ¦ÀíÄ£¿é£¬ÊµÏÖÁ˾²Ñ¹ºÍζȲ¹³¥µÄÍêÃÀ½áºÏ£¬¼´Ê¹ÔÚ´ó·¶Î§µÄ¾²Ñ¹ºÍζȱ仯ÏÂÒ²ÄÜÌṩ¼«¸ßµÄ²âÁ¿¾«¶ÈºÍ³¤ÆÚÎȶ¨ÐÔ¡£²úÆ·Ó¦ÓÃÓÚʯÓÍ»¯¹¤¡¢ÌìÈ»Æø¡¢»·±£¹¤³Ì¡¢ÖÆÒ©¹¤³Ì¡¢Ê³Æ·¹¤³Ì¡¢Ë®Àû¹¤³Ì¡¢º£Ñ󹤳̡¢¹¤³Ì»úе¡¢Á÷ÌåÉ豸µÈ¡£
µçÈÝʽѹÁ¦±äËÍÆ÷¹¤×÷ÔÀí¼°Ó¦Óó¡¾°£º
µçÈÝʽѹÁ¦±äËÍÆ÷ÖвâÁ¿½éÖʵÄÁ½¸öѹÁ¦½øÈë¸ßѹÊҺ͵ÍѹÊÒ£¬×÷ÓÃÔÚѹÁ¦²âÁ¿Ôª¼þ£¨¼´Ãô¸ÐÔª¼þ£©Á½²àµÄ¸ôÀëĤƬÉÏ¡£Ôª¼þÖеÄÒºÌå±»×ªÒÆµ½²âÁ¿Ä¤Æ¬µÄÁ½²à¡£µçÈÝʽѹÁ¦±äËÍÆ÷ÊÇÒ»¸ö´øÓвâÁ¿Ä¤Æ¬ºÍλÓÚ¾øÔµÆ¬Á½²àµÄµç¼«µÄµçÈÝÆ÷¡£Èç¹ûÁ½²àµÄѹÁ¦²»Æ¥Å䣬²âÁ¿Ä¤Æ¬¾Í»á²úÉúÎ»ÒÆ£¬µ«Î»ÒÆÓëѹ²î³ÉÕý±È£¬Òò´ËÁ½²àµÄµçÈݲ»ÔÙÏàµÈ£¬Í¨¹ýÕñµ´ºÍ½âµ÷»·½Ú£¬²âÁ¿Ä¤Æ¬»á²úÉúÎ»ÒÆ¡£¸ôĤ½«ÓëѹÁ¦²îÐźųÉÕý±È¡£Ñ¹Á¦¡£µçÈÝʽѹÁ¦±äËÍÆ÷ºÍµçÈÝʽ¾ø¶ÔѹÁ¦±äËÍÆ÷µÄ¹¤×÷ÔÀíÓë²îѹ±äËÍÆ÷Ïàͬ£¬Ö»²»¹ýµÍѹÊÒÖеÄѹÁ¦Îª´óÆø»òÕæ¿Õ¡£µçÈÝʽѹÁ¦±äËÍÆ÷µÄA/Dת»»Æ÷½«½âµ÷Æ÷µçÁ÷ת»»³ÉÊý×ÖÐźţ¬Î¢´¦ÀíÆ÷ʹÓøÃÊý×ÖÐźÅÀ´È·¶¨ÊäÈëѹÁ¦Öµ¡£Î¢´¦ÀíÆ÷¿ØÖÆ·¢Éä»úµÄ²Ù×÷¡£´ËÍ⣬Ëü»¹Ö´Ðд«¸ÐÆ÷µÄÏßÐÔ»¯¡£ÖØÖòâÁ¿·¶Î§¡£¹¤³Ìµ¥Î»×ª»»¡¢Ë¥¼õ¡¢¿ª¶ÈºÍ´«¸ÐÆ÷΢µ÷µÈ²Ù×÷£¬ÒÔ¼°Õï¶ÏºÍÊý×ÖͨÐÅ¡£¹ã·ºÓ¦ÓÃÓÚʯÓÍ¡¢»¯¹¤¡¢¸ÖÌú¡¢µçÁ¦¡¢ÇṤ¡¢»·±£µÈ¹¤ÒµÁìÓò£¬ÊµÏÖ¸÷ÖÖѹÁ¦¡¢²îѹ¡¢Á÷Á¿¡¢ÒºÎ»µÈ¹¤Òµ¹ý³ÌµÄ²âÁ¿¡£¸÷ÖÖ¶ñÁÓΣÏÕ»·¾³ºÍ¸¯Ê´ÐÔ½éÖÊ¡£
À©É¢¹èѹÁ¦±äËÍÆ÷¹¤×÷ÔÀí¼°Ó¦Óó¡¾°£º
À©É¢¹èѹÁ¦´«¸ÐÆ÷ÀûÓÃѹ×èЧӦÔÀí£¬²ÉÓü¯³É¹¤ÒÕ¼¼Êõ£¬Í¨¹ýÑØµ¥¾§¹èÆ¬ÌØÕ÷¾¶Ïò·½ÏòµÄ²ôÔÓºÍÀ©É¢²úÉúÓ¦±äµç×裬ÐγɻÝ˹ͨµçÇÅÐÎʽ¡£ÀûÓùè²ÄÁϵĵ¯ÐÔÁ¦Ñ§ÌØÐÔºÍͬһ¹èÇиî²ÄÁϵĸ÷ÏòÒìÐÔ΢¼Ó¹¤£¬ÖÆÔìÁËÒ»ÖÖ¾ßÓм¯³ÉÁ¦Ãô¸ÐºÍÁ¦µçת»»¼ì²â¹¦ÄܵÄÀ©É¢¹è´«¸ÐÆ÷¡£À©É¢¹èѹÁ¦´«¸ÐÆ÷µÄѹÁ¦Ö±½Ó×÷ÓÃÔÚ´«¸ÐÆ÷ĤƬ£¨²»Ðâ¸Ö»òÌÕ´É£©ÉÏ£¬ÒýÆðĤƬ²úÉúÓë½éÖÊѹÁ¦³ÉÕý±ÈµÄÎ¢Ð¡Î»ÒÆ£¬´Ó¶ø¸Ä±ä´«¸ÐÆ÷µÄµç×èÖµ¡£µç×ӵ緼ì²â²¢×ª»»Ñ¹Á¦£¬²¢¸ù¾ÝѹÁ¦Êä³ö±ê×¼²âÁ¿Ðźš£
Ö÷ÒªÓÃÓÚ¹¤Òµ¹ý³Ì×Ô¶¯»¯¿ØÖÆÖÐѹÁ¦¡¢Á÷Á¿¡¢ÒºÎ»¡¢Õæ¿Õ¡¢ÃܶȵȲÎÊýµÄ²âÁ¿£¬¹ã·ºÓ¦ÓÃÓÚÒ±½ð¡¢µçÁ¦¡¢»¯¹¤¡¢Ãº»¯¹¤¡¢ºËµç¡¢½¨²Ä¡¢´¬²°¡¢»úÐµÖÆÔì¡¢µÈµÈ¡£È·ÊµÈç´Ë¡£À¬»ø´¦Àí¡¢¸ßËÙ¹«Â·¡¢³ÇÊй©ÈÈ¡¢¾ü¹¤¡¢ÖÆÒ©¡¢Ê³Æ·µÈÐÐÒµ¡£
ÌÕ´ÉѹÁ¦±äËÍÆ÷¹¤×÷ÔÀí¼°Ó¦Óó¡¾°£º
ÌÕ´É»ù°åºÍ¸ôĤͿÓнðÊô²¢ÓÃ×÷µç¼«¡£Á½¸öÌմɲ¿¼þͨ¹ý²£Á§ÃÜ·â¼þÁ¬½Ó£¬²¢±£³ÖÊܿؼä϶£¬ÒÔ±ãÁ½¸ö½ðÊôµç¼«ÐγɵçÈÝÆ÷¡£µ±Ê©¼ÓѹÁ¦Ê±£¬»ù°åÓë¸ôĤ֮¼äµÄ¼ä϶·¢Éú±ä»¯£¬´Ó¶ø¸Ä±ä´«¸ÐÔª¼þµÄµçÈÝ£¬²¢Í¨¹ýºóÐø´¦Àíµç·ÐγÉÓëѹÁ¦Ïà¹ØµÄÐźÅÊä³ö¡£ÌÕ´ÉĤƬµÄ±ßÔµ¹Ì¶¨ÔÚÌմɵ××ùÉÏ£¬²¢ÔÚÍâÖÜÊܵ½Ö§³Å£¬Òò´Ëµ±ÊÜÁ¦Ê±£¬ÖÐÐıäÐν϶࣬±ßÔµ±äÐνÏС£¬µ¼ÖµçÈÝ·ÇÏßÐÔ£¬ÁéÃô¶È½µµÍ¡£ÎªÁ˼õÉÙζÈЧӦºÍ±ßԵЧӦ£¬Éè¼ÆÊ±ÔÚÌÕ´ÉĤƬÉ**²×°Ô²Ðε¥µç¼«×÷Ϊ¹«¹²µç¼«£¬ÔÚÌմɸÇÉ**²×°Ë«µç¼«ÒÔ¾ùºâÃæ»ý£¬ÐγɴóµçÈÝ¡£´«¸ÐÆ÷¡£ÖÐÐÄΪ²âÁ¿µçÈÝCp£¬±ßÔµ»·Îª²Î¿¼µçÈÝCr£¬CrµÄÍâ²àΪ¹Ì¶¨Ö§³Å±ßÔµ¡£ËæºóµÄÐźŵ÷Àíµç·´¦ÀíÁ½¸öµçÈÝÆ÷Ö®¼äµÄµçѹ²î£¬ÀûÓ÷½²¨¼¤ÀøÐźŽ«CpºÍCrµÄ±ä»¯×ª»»ÎªÖ±Á÷µçѹÊä³ö£¬²¢Í¨¹ýÁ½¸öÊä³öµçѹ֮¼äµÄ²îÖµÐźÅÊä³öÍⲿѹÁ¦¡£³ß´ç¡£Ë«µçÈÝÆ÷½á¹¹ÏÔ׎µµÍÁË´«¸ÐÆ÷ϵͳÖеķÇÏßÐÔÎó²î£¬Í¬Ê±µ±»·¾³Î¶ȱ仯ʱ£¬Á½¸öµçÈÝÆ÷¾ÀúÏàͬµÄζȱ仯£¬Òò´ËζȶԵçÈÝÆ÷µÄÓ°ÏìÊǾùÔȵIJ¢µÖÏûÁËζȱ仯¡£È¥×ö¡£ÊµÏÖ²âÁ¿Îó²îºÍζÈ×ÔУÕý¡£
Ö÷ÒªÓ¦ÓÃÓÚ¹ý³Ì¿ØÖÆÏµÍ³¡¢Ñ¹Á¦±ê¶¨É豸¡¢ÒºÑ¹ÏµÍ³¡¢ÉúÎïҽѧÉ豸¡¢ÒºÑ¹ÏµÍ³ºÍ·§ÃÅ¡¢ÒºÎ»²âÁ¿¡¢ÖÆÀäÉ豸¡¢Å¯Í¨¿Õµ÷¿ØÖƵÈÐÐÒµ¡£ÎÄÕÂÀ´Ô´£ºhttp://www.yby001.com/technical-news/1281.html °æÈ¨ËùÓУ¬Î¥Õ߱ؾ¿£¬ÈçÐè×ªÔØÇë×¢Ã÷³ö´¦¡£








