台阶仪使用方法,台阶仪能检测哪些东西?主要应用在哪些领域中
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|计步器是一种常见的工业产品,广泛应用于大学、实验室、研究所、半导体及化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗器械等行业,是一种测量设备。完整测量微米和纳米结构薄膜厚度、薄膜高度、表面形貌、表面波纹度和表面粗糙度。
工作原理
当您沿着测量表面缓慢滑动探头时,探头在滑动的同时沿着波峰和波谷上下移动。手写笔的移动反映了表面的轮廓。
CP200 步数计采用线性可变差分电容传感器(LVDC),具有亚埃分辨率(在13um 范围内高达0.01 埃),具有出色的测量精度和可重复性。该产品具有高信噪比和低线性误差,可以从几纳米到数百微米步进扫描形态特征。它无需任何特殊条件即可测量金属、陶瓷、塑料等多种材料的膜厚,因其样品适应性广、数据重复性高、测量稳定、方便、高效而被广泛应用。千分尺应用于微米表面测量、纳米样品测量。
典型应用
1. 半导体应用
(1) 沉积薄膜的台阶高度
(2)抗蚀剂工序(软膜材料)
(3)蚀刻速率测量
(4)化学机械抛光(腐蚀、凹痕、弯曲)
2. 大型基板的应用
(1)印刷电路板(突起、台阶)
(2)窗户涂层
(3) 晶圆掩模
(4) 晶圆卡盘涂层
(5)抛光盘
3、玻璃基板及显示应用
(1)AMOLED
(2)液晶屏开发过程中的电平差测量
(3)触摸屏膜厚测量
(4)太阳能发电涂层测量
4、薄膜在柔性电子器件中的应用
(1)有机光电探测器
(2) 在薄膜或玻璃上印刷有机薄膜
(3)触摸屏铜接线








