台阶仪标准片，台阶仪的原理

台阶仪是一种超精密接触式微观形状测量仪器，主要用于测量台阶高度、膜厚、表面粗糙度等微观形状参数。测量时，半径为2m的金刚石尖端在移动超精密位移台的同时扫描样品表面，测针的垂直位移距离根据形状和尺寸转换成电信号，该信号为最后转换成数字点云信号（数据点云），信号在分析软件中显示，利用各种分析工具获得台阶高度、粗糙度等表面质量的相应数据。

CP200计步器产品外观

CP系列步数计采用线性可变差分电容传感器LVDC，具有超精细的力调节能力和亚埃分辨率，同时集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制和校准算法。该技术使仪器能够实现非常高的测量精度和测量再现性。

产品特点1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量从纳米到330m甚至1000m的台阶高度，可用于测量沉积或精确测量去除的材料。 2）粗糙度和波纹度：可以测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件可以通过计算扫描的微样品来测量Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等粗糙度和波纹度相关值。可以检索20多个参数。 -轮廓曲线；3)翘曲和形状：可以测量样品表面的2D形状或翘曲，例如半导体晶圆制造过程中多层沉积层结构中的层间失配引起的翘曲或形状变化。工艺或类似结构的高度和曲率半径，包括透镜。 2. 数据采集与分析系统1) 自定义测量模式：支持用户通过自定义输入坐标位置或相对位移来设置扫描路径的测量模式； 2) 导航地图智能测量模式：支持可结合导航地图。利用校准数据和实时图像智能生成运动指令，实现扫描测量模式。 3）SPC统计分析：支持不同类型测试件的多项指标参数分析，提供批量样品测量数据的SPC图表，统计分析数据变化趋势。 3.配备500W像素彩色摄像头，光学导航功能可将探头扫描轨迹的地形图像发送至软件并实时显示，实现即时、高精度的位置测量。 4、样品空间姿态调节功能配备精密XY位移台、360电动旋转平台、电动升降Z轴，可调节样品的XYZ、角度等空间方位，保证测量精度和效率。得到改善。步距计对应用场景适应性强，对待测样品的反射率特性、材料类型或硬度没有特殊要求，可用于半导体、光伏、光处理、LED、MEMS器件、对于各行业企业和大学等科研部门来说，表面微形貌参数的准确表征对于相关材料的评价、性能分析、加工工艺的改进具有重要意义。