台阶仪是什么,台阶仪原理
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|6月16日,记者获悉,松山湖材料研究所精密装备研发团队成功研制出自主研发的计步器,实现了国产计步器的突破,加速了国产计步器的替代。
日本第一台国产踏步仪
台阶计也称为探针轮廓仪,据报道可用于测量微米至纳米尺度的样品表面形貌,并应用于微电子、半导体、太阳能、高能等领域。该领域的重要工具。亮度LED、触摸屏,医疗、科研、材料科学必不可少的重要测量设备。长期以来,该类设备被美国布鲁克、美国KLA、日本小坂三大厂商垄断,日本国内没有其他厂商能够提供类似产品。
“步进仪器的研发需要四个超:超精细运动控制、超高精度位移传感、超低噪声信号采集、超高平整度元件等关键技术。”团队负责人徐智指出。莱克材料研究院精密装备研发团队在这些领域拥有丰富的经验和扎实的技术积累。此外,基于我们之前自主开发的压电驱动纳米位移台产品套件和扫描探针显微镜制备技术,我们可以快速完成解决方案设计并开始功能和工程原型的迭代开发。
据报道,该项目于2020年12月获得内部批准,并于2021年5月进行样品测试。样机于2022年4月进入生产线试运行,2022年6月正式机投入使用。至此,国产楼梯乐器迈出了革命性的一步。
“关键测量仪器设备实现国产化,最重要的是自主可控。交付的计步器能够满足企业真实的指标要求,与同类进口设备相比,成本大幅降低``大约30%。”徐纸说。
精密设备研发团队步进设备项目组
提到项目组开发了三种不同测试需求的机型,让客户根据需求选择相应的配置,并配备自主开发的软件,实时显示测量图表数据,非常值得。目前,团队正在与10多家有相关需求的企业和科研机构洽谈合作。
据悉,松山湖材料研究所精密装备研发团队正在以具有自主知识产权的技术为核心,进行精密科研装备和工业自动化装备的产业化改造。公司研发的台式扫描电子显微镜、大行程纳米位移台等产品为国内唯一量产产品,等离子体化学气相沉积设备、扫描隧道显微镜系统等产品处于国际一流水平。已达到国内一流水平。等级。
“精密装备研发团队以国家战略为导向,瞄准市场需求,努力成为一支负责任、经过验证的尖端装备产业化团队。”徐智说。资深记者张华桥图片提供:松山湖材料研究所








