白光干涉三维轮廓仪，白光干涉仪和表面轮廓仪

表面形貌是表面的精细几何形状，它不仅对接触零件的机械和物理性能起着决定性的作用，而且对一些非接触零件的光学和外部性能也有很大的影响。因此，表面形貌的精确测量可以准确地识别加工过程中的变化和缺陷，对于研究表面几何性质与性能之间的关系、控制和改进加工方法等具有重要意义。随着微电子、光学、计算机、传感以及信号分析处理技术的快速发展，表面形貌测量的精度不断提高，从微米级向纳米甚至亚纳米级发展。步进计和白光干涉仪都是表面微观轮廓测量的强大工具，但它们仍然有所不同。

1、测量方法（1）CP200台阶仪是一种超精密接触式微观形状测量仪器，采用半径为2m的金刚石尖端扫描样品表面，进行超精密位移。载物台移动样品测量触针的垂直位移距离转换为与特征尺寸匹配的电信号，最终转换为数字点云信号数据点云信号显示在分析软件中，不同的分析工具用于获取台阶高度、粗糙度等表面质量的相应数据。

（2）SuperViewW1白光干涉仪是一种光学检测装置，用于各种精密仪器和材料表面的亚纳米非接触测量。它以白光干涉技术为原理，对设备表面进行非接触式扫描，建立3D表面图像。系统软件对设备表面的3D图像进行数据处理和分析，以获得反射2D和3D参数。我们将创建一种光学检查设备，可测量设备的表面质量并以3D 方式测量设备的表面形状。

测量应用(1)台阶计主要用于测量台阶高度、膜厚、表面粗糙度等微观形貌参数。

参数测量功能

1）台阶高度：测量从纳米到330m甚至1000m的台阶高度，以精确测量蚀刻、溅射、SIMS、蒸发、旋涂、CMP等工艺过程中沉积或去除的材料。

2）粗糙度和波纹度：可以测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描的显微轮廓曲线，计算出20多个与粗糙度和波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz参数。得到它。 3）翘曲和形状：可以测量样品表面的二维形状和翘曲，例如半导体晶圆制造过程中多层沉积结构的各层之间不匹配引起的翘曲、形状变化和高度过程。透镜状结构的曲率半径。

(2)白光干涉仪虽然也可以测量台阶高度，但更常用于测量各种物体表面，从超光滑到粗糙，从低反射率到高反射率，以及工件的粗糙度；用于测量平面度、平整度。可以满足超光滑表面，特别是纳米到微米级的精细几何轮廓和曲率的高精度和宽扫描范围的要求。

非常平滑的镜片测量

金属板的磨损分析

大样_接缝测量

白光干涉仪与步进计相比具有以下优点：

首先，非接触式高精度测量不会划伤甚至损坏工件。

其次，测量速度快，不需要像用探头那样逐点测量。

第三，无需修改探头半径。光斑的位置就是被测工件表面的位置。

第四，对于高深宽比沟槽结构可以快速准确地获得理想的测量结果。