硅棒沉积及冷氢化过程都会发生三氯氢硅、四氯化硅的聚合反应
wujiai
|(1)只能裂解精馏工段产生的洁净高沸物，不能有效处理冷加氢产生的高沸物；
(2)转化效率低，仅能裂解50-80%左右的可裂解高沸物；
(3)催化剂用量大，每吨高沸水使用5-20kg；
(4)过期催化剂处理困难四氯化硅价格，水解产生高COD、高氨氮、高臭味的废水和废渣；
(5)系统压力高或氯化氢转化率低；
(6)设备腐蚀严重。
我公司于2015年成功开发高沸裂解工艺，2019年首套5000吨/年装置投产，生产出合格的三氯氢硅和四氯化物产品。 装置的实际运行表明，我公司的工艺及设备具有诸多优势：
(1)可处理冷氢化杂质含量极高的物料，最终产品满足多晶硅生产要求；
（2）氯化氢单程转化率近100%，行业领先；
（3）可裂解高沸转化率近100%，行业领先；
（4）催化剂消耗低至0.3kg/吨高沸点，行业领先；
（5）实现过期催化剂全部回收，废水中COD、氨氮达标排放，无任何臭味；
(6)裂解产物中的金属氯化物、磷、硼符合多晶硅用氯硅烷的质量要求。