½ðÊô±íÃæÍ¿×°£¬½ðÊô±íÃæÍ¿²ãÒ»¹²ÓжàÉÙÖÖ²ÄÖÊ
chanong
|ÔÚ½ðÊô±íÃæÍ¿¸²ÄÍĥͿ²ãÊÇÌá¸ß½ðÊôÁã¼þÄÍÄ¥¡¢Ä͸¯Ê´¡¢¿¹Ñõ»¯ÐÔÄܵÄÓÐЧ;¾¶¡£½ðÊô±íÃæ³£¼ûµÄÄÍĥͿ²ã°üÀ¨£º 1¡¢Ç¿»¯Í¿²ã£ºÇ¿»¯Í¿²ãÊÇͨ¹ýÈÈ´¦Àí»ò»¯Ñ§´¦ÀíÐγɵÄÓ²»¯±íÃæ²ã£¬¿ÉÒÔÌá¸ß½ðÊôµÄÓ²¶ÈºÍÄÍÄ¥ÐÔ¡£ 2¡¢¶Æ¸õ£º¶Æ¸õÊÇÔÚ½ðÊô±íÃæ¸²¸ÇÒ»²ã¸õµÄ·½·¨¡£¸õÓÉÓÚÆä¸ßÓ²¶È¡¢ÄÍÄ¥ÐÔºÍÄ͸¯Ê´ÐÔÄÜÌá¸ß½ðÊôÁã¼þµÄÐÔÄÜ¡£ 3¡¢¶ÆÄø£º¶ÆÄøÊÇÔÚ½ðÊô±íÃæ¸²¸ÇÒ»²ãÄøµÄ·½·¨¡£¶ÆÄø¿ÉÌá¸ß½ðÊôÁã¼þµÄÄÍÄ¥ÐÔ¡¢Ä͸¯Ê´ÐÔ¡¢¿¹Ñõ»¯ÐÔ£¬²¢¸ÄÉÆÆäÍâ¹Û¡£ 4¡¢Ó²ÖʺϽðÍ¿²ã£ºÓ²ÖʺϽðÍ¿²ãÊÇÒ»ÖÖÓ²¶È¸ß¡¢ÄÍÄ¥¡¢Ä͸¯Ê´µÄºÏ½ðÍ¿²ã¡£³£¼ûµÄ̼»¯ÎïÍ¿²ã°üÀ¨Ì¼»¯ÎÙ¡¢Ì¼»¯îѺÍ̼»¯¸õ¡£ 5¡¢ÌÕ´ÉÍ¿²ã£ºÌÕ´ÉÍ¿²ãÊÇÒ»ÖÖÄÍÄ¥¡¢Ä͸ßΡ¢Ä͸¯Ê´µÄÍ¿²ã¡£³£¼ûµÄÌÕ´ÉÍ¿²ã²ÄÁ**üÀ¨Ñõ»¯ÂÁ¡¢Ñõ»¯ï¯ºÍµª»¯¹è¡£ 6¡¢Àà½ð¸Õʯ̼Ĥ£¨DLC£©£ºÀà½ð¸Õʯ̼ĤÊǾßÓÐÀà½ð¸Õʯ½á¹¹µÄ̼Ĥ¡£ DLC¾ßÓм«¸ßµÄÓ²¶È¡¢ÄÍÄ¥ÐÔ¡¢Ä͸¯Ê´ÐÔ£¬Ê¹ÆäÊÊÓÃÓÚ¸÷ÖÖ½ðÊôÁã¼þµÄ±íÃæ¡£ 7¡¢ÈÈÅçÍ¿£ºÈÈÅçÍ¿ÊÇÀûÓøßËÙÆøÁ÷½«ÄÍÄ¥²ÄÁÏÅçÍ¿µ½½ðÊô±íÃæµÄ·½·¨¡£ÈÈÅçÍ¿²ã¿ÉÓÐЧÌá¸ß½ðÊôÁã¼þµÄÄÍÄ¥ÐÔºÍÄ͸¯Ê´ÐÔ¡£ 8. ¼¤¹âÈÛ¸²£º¼¤¹âÈÛ¸²ÊÇÒ»ÖÖÀûÓü¤¹âÊø½«ÄÍÄ¥²ÄÁÏÈÛ»¯²¢³Á»ýµ½½ðÊô±íÃæÉϵķ½·¨¡£ÕâÖÖ·½·¨¿ÉÒÔÈÃÄú»ñµÃ¾ßÓÐÓÅÒìÄÍÄ¥ÐÔµÄÍ¿²ã¡£ 9¡¢PVD£¨ÎïÀíÆøÏà³Á»ý£©£ºPVDÊÇÔÚÕæ¿Õ»·¾³Ï½«ÄÍÄ¥²ÄÁÏÎïÀí³Á»ýµ½½ðÊô±íÃæÉϵļ¼Êõ¡£³£¼ûµÄPVDÍ¿²ã°üÀ¨µª»¯îÑ(TiN)¡¢µª»¯¸õ(CrN)ºÍ̼»¯îÑ(TiC)¡£ PVDÍ¿²ãÓ²¶È¸ß¡¢Ä¦²ÁϵÊýµÍ¡¢ÄÍÄ¥ÐÔÄÜÓÅÒì¡£ 10.CVD£¨»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý£©£ºCVDÊÇÒ»ÖÖͨ¹ý»¯Ñ§·´Ó¦ÔÚ½ðÊô±íÃæ³Á»ýÄÍÄ¥²ÄÁϵķ½·¨¡£ CVDÍ¿²ã¾ßÓи߸½×ÅÁ¦¡¢ÄÍÄ¥ÐÔ¡¢Ä͸¯Ê´ÐÔ¡£³£¼ûµÄCVD Í¿²ã°üÀ¨Ì¼»¯ÎÙ(WC) ºÍµª»¯¹è(Si3N4)¡£ 11¡¢½¦É䣺½¦ÉäÊÇÓøßÄÜÀë×Óºä»÷ÄÍÄ¥²ÄÁϱíÃæ£¬Ê¹²ÄÁϵÄÔ×Ó»ò·Ö×Ó½¦Éäµ½½ðÊô»ùÌå±íÃæµÄ·½·¨¡£½¦ÉäÍ¿²ãÓ²¶È¸ß¡¢ÄÍÄ¥¡¢Ä͸¯Ê´£¬¿ÉÓÃÓÚ¸÷ÖÖ½ðÊôÁã¼þµÄ±íÃæ¡£ 12¡¢×ÔÈó»¬Í¿²ã£º×ÔÈó»¬Í¿²ãÊǾßÓÐ×ÔÈó»¬ÐÔÄܵÄÄÍĥͿ²ã£¬¿ÉÒÔ½µµÍĦ²ÁϵÊý£¬¼õÉÙÄ¥Ëð£¬ÑÓ³¤Áã¼þµÄʹÓÃÊÙÃü¡£³£¼ûµÄ×ÔÈó»¬Í¿²ã°üÀ¨Ê¯Ä«¡¢¾ÛËÄ·úÒÒÏ©£¨PTFE£©ºÍ¹èÓÍ¡£ 13¡¢Ñõ»¯´¦Àí£ºÑõ»¯´¦ÀíÊÇÓû¯Ñ§»òµç»¯Ñ§·½·¨ÔÚ½ðÊô±íÃæÐγÉÖÂÃÜÑõ»¯Ä¤µÄ¹ý³Ì¡£Ñõ»¯Ä¤¾ßÓÐÓÅÁ¼µÄÄÍÄ¥ÐÔ¡¢Ä͸¯Ê´ÐÔ¡¢¸½×ÅÁ¦¡£³£¼ûµÄÑõ»¯´¦ÀíÓÐÑô¼«Ñõ»¯£¨ÈçÂÁºÏ½ðµÄ±íÃæ´¦Àí£©ºÍºÚÉ«Ñõ»¯´¦Àí£¨Èç¸ÖµÄ±íÃæ´¦Àí£©¡£ÒÔÉÏÊǽðÊô±íÃæ³£¼ûµÄһЩÄÍĥͿ²ã¡£ÔÚʵ¼ÊÓ¦ÓÃÖУ¬¿É¸ù¾Ý¾ßÌåµÄ¹¤×÷»·¾³¡¢Áã¼þ²ÄÁϺÍÐÔÄÜÒªÇóÑ¡ÔñºÏÊʵÄÄÍĥͿ²ã¡£








